Ag baint úsáide as teicneolaíocht stórála plasma stua cathodic. Is teicneolaíocht stórála scannáin tanaí réasúnta nua é taisceadh plasma stua cathodach atá cosúil ar go leor bealaí le plátáil ian. Na buntáistí a bhaineann leis: ráta ard ianúcháin i sreabhadh na gcáithníní astaithe, agus tá ardfhuinneamh cinéiteach (40-100eV) ag na hiain ianaithe seo.

Léirítear go leor de na buntáistí a bhaineann le sil-leagan bíomaí ian, amhail greamaitheacht fheabhsaithe, dlús stáit méadaithe, agus ard-imoibríocht maidir le foirmiú scannáin chumaisc, sa taisceadh plasma stua cathodach. Tá a buntáistí uathúla féin ag taisceadh plasma stua cathodach, mar shampla a bheith in ann taisce a dhéanamh ar fhoshraitheanna níos casta-chruthach, le ráta ard taisce, aonfhoirmeacht sciath maith, teocht íseal tsubstráit, agus ullmhú éasca comhdhúile nó cóimhiotail le cóimheasa ceimiceacha idéalach. .

Déantar an t-ábhar catóide a ghalú ag an bpróiseas galú mar gheall ar dhlús ard reatha, agus tá an galú mar thoradh air comhdhéanta de leictreoin, iain, adaimh chéim gáis lárnach agus cáithníní. Ag an bpointe stua catóide, tá an t-ábhar ianaithe beagnach láithreach. Astaítear na hiain i dtreo beagnach ingearach leis an dromchla catóide. Nuair a bhuaileann na hiain cróimiam ardfhuinnimh an nítrigin, rachaidh siad faoi imoibriú ceimiceach láithreach agus beidh siad gásach. Móilíní nítríde cróimiam.



